WDS 波長散佈式光譜儀

WDS-波長色散譜儀, 簡稱波譜儀-相較能譜儀來說,波譜儀的能量解析度更高,痕量元素準確定量更准,無論高能或低能X射線皆可在最優化的條件下採集……

"令SEM的元素分析達到電子探針的準確度"

Overview

  • 低於500pppm下準確定量分析
  • 解析度小於10eV,有效區分EDS中重疊峰,如S/Mo等
  • 即使出現重疊峰,WDS也可以快速準確的辨別樣品中所有元素
  • 分析痕量元素比EDS靈敏100倍
  • SEM最準確的元素定量分析工具
  • 可以同時結合XPP演算法支援的主元素使用ED分析,痕量元素WD分析,從而達到EPMA的準確度。

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