PIE Scientific 遠程等離子清洗機

                               EM KLEEN Plasma Cleaner small                  EM KLEEN Controller small    

用於SEM,FIB,XPS,ALD,EUVL等高真空室的遠程等離子體清洗機。

產品描述 

由PIE Scientific開發的SmartClean™技術結合了最先進的等離子體放電技術在核研究和半導體行業。我們的等離子體清潔機可以根據任何規格打敗競爭對手。 此外,我們的產品僅提供許多獨特的功能。

 

應用領域

 

1.    FE-SEM,FIB和TEM的原位樣品清洗

2.    半導體設備去除污染,如CD-SEMEBREBIEUVL

3.    高真空室清潔,以清除電子顯微鏡,XPS,AES系統上的碳氫化合物污染物。

4.    XPS、SIMS和 AES的樣品清洗

5.    對ALD在有機溶劑清洗後,進行樣品清洗

  

合作夥伴