- 體積小,防震佳,不受場地限制
- 速度快,送入樣品到SEM 成像僅需30秒
- 電子顯微鏡放大倍率80x~150,000x
- 全程自動化樣品台操作更具備樣品導航功能
- 獨有的光學鏡頭設計,放大倍率20x~135x
- 自動對焦,自動調整亮度與明暗對比
- 長效型高亮度高解析的CeB6燈絲源(非一般鎢燈絲),減低後續維修保養的時間
- 高感度的背散射偵測器(組成像和表面形貌兩種模式)
- 特殊樣品台設計,樣品不需鍍金直接觀看
- 真空系統:薄膜幫浦, TMP(無油式真空系統)
- EDS:Silicon Drift Detector (SDD) ,超強分析能力,免加液態氮
- 操作簡易,人員學習30分鐘即可操作