- 體積小，防震佳，不受場地限制
- 速度快，送入樣品到SEM 成像僅需30秒
- 電子顯微鏡放大倍率80x~150,000x
- 全程自動化樣品台操作更具備樣品導航功能
- 獨有的光學鏡頭設計，放大倍率20x~135x
- 自動對焦，自動調整亮度與明暗對比
- 長效型高亮度高解析的CeB6燈絲源(非一般鎢燈絲)，減低後續維修保養的時間
- 高感度的背散射偵測器（組成像和表面形貌兩種模式）
- 特殊樣品台設計，樣品不需鍍金直接觀看
- 真空系統：薄膜幫浦, TMP(無油式真空系統)
- EDS：Silicon Drift Detector (SDD) ，超強分析能力，免加液態氮
- 操作簡易，人員學習30分鐘即可操作
