PIE Scientific 桌上型等离子清洗机

Tergeo Plus plasma cleaner s   Tergeo EM version2 s

用途

适用于等离子体清洗,蚀刻,表面处理

特征描述 

1.低成本的高性能实验室等离子体清洁机建立在劳伦斯伯克利国家实验室的离子体和离子源技术组

  织开发的技术基础上。

2.独特的专利等离子体传感器技术,用于定量等离子体强度测量。

  定量数据是在科学实验和工业生产应用中实现可重复和一致结果的关键。

3.在一个系统中直接浸渍模式等离子体清洗和下游模式等离子体清洗。 用于各种等离子体蚀刻,清

  洁和表面处理应用的多功能系统。

4.直观的触摸屏用户界面,全自动操作和先进的过程控制技术,如等离子体传感器,数字压力传感

  器和自动MFC调节气体流量控制。 一旦配方优化,不同用户或不同日子的流程变化。 它支持20

  个可定制的配方。

合作夥伴