離子束拋光技術屬於非接觸式，是將氣體分子轉換成離子再匯聚成束，直接將離子束打到樣品。對準拋光位置後樣品會慢慢地去除表面的應力破壞層或是拜爾比層，能透過調整能量與時間精準拋光樣品，看到樣品最真實樣貌與材料晶格。常見儀器為離子研磨機（ion milling）與聚焦離子束系統(FIB)。