應用專欄

不能不知道的掃描式電子顯微鏡(SEM)微粒分析技術

科技的躍進時代下,樣品觀測不再受光波的波長所局限,電子顯微鏡的發明突破了光學顯微鏡的解析度瓶頸,造就了探索與開啟奈米世界的鑰匙,而粉末微粒便是奈米世界中的小巨人,微小的顆粒卻能影響甚至改變各種物質的變化,其影響領域不只侷限在工業領域(高分子材料),近年來以奈米科技延伸發展…

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電子顯微鏡:揭開肉眼看不見的世界

光學顯微鏡的解析度受限於光的波長,為了獲得更精細的影像,科學家利用電子製造了電子顯微鏡。電子顯微鏡的解析度是光學顯微鏡的1,000倍之多,甚至達到奈米等級。電子顯微鏡主要分為SEM及TEM兩種。前者藉由…

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表面分析

表面分析是什麼?捕捉半導體製程缺陷必備!

在半導體製程當中,想要精確的發現製程缺陷,少不了半導體缺陷分析。而在這中間表面分析儀器與手法更是重中之重。本文大略介紹了何為表面分析技術,以及一些常見的表面分析工具,包含SEM、XPS、AES、AFM和SIMS,還有這些工具在不同步驟中的應用。

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電子顯微鏡的安裝規劃 – 如何減少或消除干擾

勀傑科技 編譯 一個電子顯微鏡穩定的環境條件建立,其關鍵是由專門服務提供者或設備供應商進行嚴格的安裝前檢查,確保是否有影響成像品質的任何外在因素。 通常,會包括測量聲級和 X、Y、Z 方向的磁場及地面振動,並與要安裝的設備環境規格進行直接比

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