勀傑團隊 著
桌上型電子顯微鏡全新操作介面整合SEM和EDS為一全屏螢幕,觀測分析一次到位
Thermofisher Scientific 於2020年7月發表新一代Phenom ProX G6電子顯微鏡,針對規格與軟體進行大幅度升級,將SEM放大倍率提高到350,000x,並且突破性的將SEM與EDS整合至一個24吋全屏螢幕操作介面,點擊滑鼠進行觀測分析一次完成。
此次全新發明Live EDS功能,針對影像中顆粒異物能夠快速確認元素成分,將分析效率提升到新高度。
Phenom ProX G6電子顯微鏡 – 全新使用者介面降低操作難度,縮減觀測分析時間,提高研究效率。
Phenom ProX G6從上一代的19吋屏幕、SEM觀測和EDS分析各自一個螢幕操作模式,整合升級成一個24吋屏幕,可同時進行觀測和元素分析的操作模式。
觀測性能也同時升級,放大倍率高達350,000x,SED、BSD的解析度優於6 nm、8 nm。
除了上述功能整合與性能升級外,另外新增許多突破性的技術,提高電子顯微鏡使用上的便利與實用性:
- 手動輸入放大倍率:放大倍率除了與前代一樣使用滑鼠操作外,升級後的G6增加手動輸入放大倍率的功能,直接能夠針對用戶的倍率需求作設定。
- Live EDS功能:以往EDS元素分析需要較多時間分析SEM圖像,而新的Live EDS能夠直接在SEM畫面中快速進行元素分析,幫助用戶及時判斷是否為異物或目標物,經過確認再進行元素分析細節,若不是則可以快速移動至下個地方進行觀測,節省以往一半以上的分析時間。
- 部分區域對焦功能:新的對焦功能可選定屏幕一部分進行微調,方便客戶在大倍率下,針對想要觀察的區域,直接進行更精細的對焦。
除了新增的功能外,Phenom ProX G6保有以往的優點:
- 30秒SEM成像
- 體積小、防震佳,不受場地限制
- 全程自動化樣品台,具備樣品導航功能
- 特殊樣品台設計,樣品不需鍍金直接觀看
Phenom ProX G6的誕生為科學領域提供更多技術上的支援,將桌上型電子顯微鏡的性能帶領至新的里程碑。
我們將在Semicon Taiwan展會期間 K2488攤位 實機展示 Phenom ProX G6
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