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半導體應用實例:桌上型SEM實現自動化

半導體光刻機製程應用實例:桌上型SEM實現自動化品保測量

在研發實驗室,我們選擇了 Thermo ScientificTM Phenom XLTM 桌上型掃描式電子顯微鏡 (SEM) 作為我們製程驗證程序的一部分,除了易用性和能容納 100 mm x 100 mm 樣品大小之外,Thermo Scientific Phenom XL 還擁有各類型的桌上型SEM中最快的放樣速度。

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截面觀察

截面觀察:如何挑選IC切片手法,找出半導體失效原因!

IC切片手法大致分為裂片 (Cleavage)、傳統機械研磨(Grinding)、離子研磨CP(Ion Milling)、聚焦離子束FIB(Focused Ion Beam)等四種。想要知道四種IC切片手法的優缺點與適用環境嗎?本文除了詳細解釋以外,還附上案例照片影片供您參考喔!

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台灣顯微鏡學會 羅聖全博士-淺談台灣電子顯微鏡發展趨勢

在時代的變遷,東西越做越小、越趨精緻化的現在,各種檢測分析機構蓬勃興起,無論是封裝廠或是學校機構,大量的樣品分析需求已成為市場的主流趨勢,也因應這個趨勢,AI自動化分析技術亦逐漸被市場所需求;然而,對於封裝廠或是學校機構來說,成本考量與場域限制是必須克服的先決條件,因此…

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