Oxford system

掃描電子及離子束顯微鏡可進行微區能譜分析（EDS/EDX），波譜分析(WDS)以及電子背散射繞射(EBSD)分析。

• EDS可提供特徵元素及/或成分含量
• WDS也可提供元素及成分含量分析，但是準確性及精度更高
• WDS也可提供元素及成分含量分析，但是準確性及精度更高
• 同時提供專業應用模組，如槍擊殘留物分析，礦物解離度分析意義多層膜厚度及成分測量