EDX

現今有許多光譜分析技術用於判別樣品的元素組成，其中X射線能量散布分析儀（Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDS）常用於電子顯微鏡中，而掃描式電子顯微鏡（簡稱 SEM）跟EDS兩者之間的技術密不可分，換句話說，一台完整功能的電子顯微鏡不可或缺EDS功能…