桌上型掃描式電子顯微鏡 Phenom Pharos SEM

來自美國科技領導品牌 Thermo Fisher Scientific 的 Phenom 桌上型掃描式電子顯微鏡，有別於傳統落地式SEM需要較大的放置空間；桌上型SEM體積相當於一臺桌上型電腦，可輕巧建置於實驗桌上，並達到微奈米等級的影像解析度。

高解析度成像：提供高解析度(又稱分辨率)電子成像和分析功能，使研究人員能夠觀測和分析微米到奈米等級的樣品，深入了解材料的結構和組成等重要資訊。

多功能性：Phenom獨家開發多款專門軟體，使微米、奈米應用技術更加廣泛，包括材料科學、工業製造、半導體製程、生命科學、高分子材料、紡織纖維材料、電子材料、金屬顆粒分析、失效分析、自動化分析、檢測客製化等。

操作直覺：友善的使用者介面且易於操作，即使 SEM 經驗有限的使用者也能輕鬆上手。

成本效益：與傳統的落地型 SEM 相比，Phenom Desktop SEM 提供更具成本效益的解決方案，以更低的成本獲得高品質的電子成像與可信的分析數據。

產品特色：

●　全球獨家桌上型場發射電子顯微鏡
●　採用FEG燈絲源，解析度優於2nm
●　電子束流大，提供穩定且高品質電子成像
●　兼具彩色光學顯微鏡全景導航
●　全自動馬達樣品台
●　專利設計高速抽真空系統，快速提供電子成像
●　擁有高中低真空模式，免鍍金直接觀測不導電樣品
●　可搭配多款專門分析軟體，如：EDS/EDX元素分析、粒徑分析等
●　直覺式操作，學習快速好上手

Phenom系列機台【規格表】

型號	Pharos G2	ProX G6	XL G2
光學放大倍率	20 – 134 x	20 – 134 x	3 – 16 x
電子放大倍率	200 – 2,000,000 x	160 – 350,000 x	160 – 200,000 x
解析度	SED ≤ 2 nm and BSD ≤ 3 nm	SED ≤ 6 nm and BSD ≤ 8 nm	≤ 10 nm
加速電壓	1kV – 20kV	4.8kV – 20.5kV	4.8kV – 20.5kV
真空模式	高真空模式 中真空模式 低真空模式	高真空模式 低真空模式	高真空模式 中真空模式 低真空模式
偵測器 (部分選配)	BSD 背向散射電子 EDS/EDX 元素分析 SED 二次電子	BSD 背向散射電子 EDS/EDX 元素分析 SED 二次電子	BSD 背向散射電子 EDS/EDX 元素分析 SED 二次電子
樣品尺寸	最大可達 32mm	最大可達 32mm	範圍最大 100mm x 100mm 可放置36個12mm樣品載台
樣品高度	最高可達 100mm (標準高度32mm)	最高可達 100mm (標準高度32mm)	最高至 40 mm

Phenom系列【樣品台】

Phenom系列【專業分析軟體】

Phenom桌上型電子顯微鏡擁有完整的可擴充性，在SEM的基礎上增加了多種的分析軟體，滿足客戶進階分析的需求

ProSuite 軟體

ProSuite 軟體包能夠使Phenom 電子顯微鏡使用者從拍攝的圖像中獲取大量的訊息，延展了SEM能力，滿足特定用戶的需求。

顆粒統計分析量測系統

顆粒統計分析量測系統能夠輕易獲得SEM圖像並分析產生報告，使用者能收集詳細的亞顆粒尺寸及粒度數據。

3D 粗糙度重建系統

3D粗糙度重建系統使Phenom 電子顯微鏡能夠建立樣品3D圖像以及亞微米粗糙度量測。

Phenom 自動化介面 (PPI)

如果用戶想把Phenom電鏡整合或者創建一個客製的解決方案，Phenom自動化介面PPI是必不可少的。PPI可以控制Phenom電鏡的部分功能，包括樣品台、導航相機和影像拍攝…。

孔徑統計分析量測系統

孔徑統計分析量測系統能夠輕易獲得SEM圖像並分析產生報告，使用者能收集詳細的孔徑分布及孔徑參數 (粒徑尺寸、長短軸比…)。

元素分析線面掃描系統

元素分析線面掃描系統是EID軟體中的選配項，能夠顯示出樣品的元素分布情形。使用者可以針對某個點自行設定像素分辨率與擷取時間後進行元素分析。

纖維統計分析量測系統

相對於以往手動量測數值，纖維統計分析量測系統能快速獲得更精確的數值，效率高，操作簡單，更可以測量和分析具有大纖維直徑差異的樣品。