常見問題 FAQ

欲解決桌上型掃描式電子顯微鏡與電鏡影像相關的問題嗎?在這個常見問題解答(FAQ)指南中,我們提供了一些解答,幫助您更好地理解和解決桌上型SEM及電子影像方面的疑問。

 

環境量測與改善(主動式消磁器)

在正常使用情況下,主動式消磁器可以不間斷地自行運作,不太需要額外做些什麼。唯一的例外是,當DC直流磁場干擾消除系統因特定情況下需重新設置時。比如:當DC直流磁場感測器被移動時。

不需要。主動式消磁系統可以自動對磁場頻率和大小的變化作出反應。

除了SC26的反應速度為10微秒內,其它的反應速度為100微秒內。需要注意的是,機台前方的LCD面板並無法即時顯示出此一速度。(但不會影響實際抵消的速度)

我們通常會在塑料管槽(38mm x 16mm)上,將適合房間尺寸的線圈黏貼或固定在牆上。在可能的情況下,線圈會用較隱蔽的方式安裝在地板下或天花板上。在新建或翻修的場所中,可能會在牆壁和地板中埋設管道。如果無法進行房間尺寸的安裝,則使用束線帶將線圈固定在工具櫃上或專門製造的鋁框架上。※線圈安裝方式可參閱此處

通常不需要。Helmholtz架對使用者來說並不方便,而且和房間型線圈安裝相比,在磁場消除功能上並沒有更好的效果。Helmholtz架通常用於OEM安裝,或是當使用其它線圈安裝方式皆不合適時。

每個機台或儀器皆需要有單獨的磁場消除系統。因為每種機台或儀器都可能產生不同的磁場干擾,所以需要針對每個機台或儀器去設計磁場消除系統。

可以,但需要做一些預防措施,詳細資訊請洽專人諮詢:02-2218-0148

因為每台機器的磁場干擾程度不同,需要依據個別情況來判斷。詳細資訊請洽專人諮詢:02-2218-0148

不會,它只是在警示你外部環境有強大磁場進來,但並不會影響消磁功能。

可以,需使用DC交流磁場感測器。

主動式消磁器在偵測到外在環境磁場時,會在短時間內自動產生一個反向磁場來做抵消。此系統是即時且動態的,並且持續性對環境磁場變化隨時進行自動負回饋磁場校正。

你可以搭配SC24/DC+AC這個感測器來使用,則系統就能同時提供DC和AC磁場抵消功能,不需要再額外多使用一個AC感測器或DC感測器。

Spicer Consulting 這套磁場消除系統已經通過 Nemko 認證,符合所有相關的規格要求。

掃描式電子顯微鏡(SEM)

掃描式電子顯微鏡(SEM)又分為落地型(floor)以及桌上型(desktop)的機型,落地型所需較大的空間與維護經費,也需要經過專門訓練的操作人員才能進行操作;而桌上型只需要一個桌機大小的空間,加上淺顯易懂的使用者界面,使得桌上型比落地款機型更容易操作,維護起來也相對容易,對於剛入門的使用者或是空間有限的實驗室來說是非常方便。

※延伸參閱《Phenom Desktop SEM如何幫助實驗室研究人員節省大量的時間?》

SE(二次電子)是電子束與樣品之間非彈性碰撞後,樣品內的電子獲得能量後溢出的結果,單純表面形貌。

BSE(背向散射電子)是電子束與樣品之間發生彈性碰撞後,反彈由表面離開的結果,其結果也和元素的原子序有關,除了觀測表面形貌外,也有助於分辨不同元素的分布。

※延伸參閱《SEM電子信號種類》

桌上型掃描式電子顯微鏡的應用包括材料科學、生命科學、地球科學、環境科學、電子元件和半導體製造等。在這些領域中,桌上型SEM通常用於研究表面形貌、觀察表面特徵和結構、檢查樣品中的微小缺陷和觀察化學元素組成分布。

桌上型掃描式電子顯微鏡常見燈絲源分為以下三大類:

  • Tungsten (W) electron filament鎢燈絲
  • Lanthanum hexaboride (LaB6)六硼化鑭or Cerium hexaboride (CeB6) 六硼化鈰
  • Field emission gun (FEG)場發射槍

【桌上型SEM燈絲源比一比】

  • 放大倍率由大至小:FEG > CeB6 > 鎢燈絲
  • 解析度由高至低 :FEG > CeB6 > 鎢燈絲
  • 燈絲壽命由長至短:FEG (10,000 h) > CeB6 (1500 h) > 鎢燈絲 (100 h)
  • 燈絲價格由高至低:FEG > CeB6 > 鎢燈絲

評估桌上型SEM燈絲源需要綜合考慮解析度需求、穩定性、操作成本、耗材、應用需求和廠家支援等因素。勀傑科技擁有台灣、中國、東南亞電鏡經驗,可協助客戶評估適合的桌上型SEM及燈絲源。

※延伸參閱《了解CeB6燈絲的五大優點》

「放大」是將物體在視覺上放大但不是在物理上放大。在許多情況下,它常被與「解析度」混淆,然而解析度(又稱清晰度或分辨率)描述的是一個影像系統對細節的分辨能力。

SEM主要用來觀察樣本的微觀結構和特徵,能否清楚分辨觀測區域的表面細節並得到所需的資訊,是重要的考量因素之一。

※延伸參閱《放大倍率對於SEM成像重要嗎?》

依據設備種類、品牌不同,從進樣到顯示出電子成像的時間通常需要三分鐘到十幾分鐘不等。

Phenom桌上型掃描式電子顯微鏡為節省研究人員的時間,研發出獨家的抽真空系統,僅需25~40秒,即可獲得影像,大幅加速實驗進程。

低真空模式常用於特定的樣品或情況,如:非導電性樣品、導電性較差樣品、高分子樣品等,使用低真空模式可以在保留樣品細節的情況下減少電荷累積及電荷效應影響,提供更好的成像研究效果。

Phenom桌上型掃描式電子顯微鏡提供高真空、中真空、低真空,共三種模式並顯示真實壓力值,供研究人員依據需求選擇使用。

坊間桌上型SEM多是使用油式幫浦,而Phenom桌上型SEM全面配備等級較高的無油式幫浦,其一大優點為完全乾燥且無油真空系統,不易污染設備及環境,也有低噪音、低震動水平及易於維護等其他優點。

此系列機種的perception自動化顆粒分析軟體經ASTM、ISO、JIS等國際認證,提供客戶可靠分析手法並取得有效的實驗數據。

依據型號可提供不同容量的樣品載台,其中容量最大的Phenom XL SEM擁有100mm*100mm大樣品艙,最多可置入36個小載台。

Phenom團隊研發出多款擴充軟體,可提供專研特定領域及特定需求的使用者更多且更詳細的數據,如:

  • 3D Roughness Reconstruction(3D粗糙度重建系統)
  • FiberMetric(纖維統計分析量測系統)
  • PoroMetric(孔徑統計分析量測系統)
  • ParticleMetric(顆粒統計分析量測系統)
  • Automated Image Mapping(大圖拼接系統)

※延伸參閱《Phenom Desktop SEM擴充軟體》

可以,Phenom桌上型掃描式電子顯微鏡是少數可客製化流程的SEM,透過提供Phenom開發的PPI與PPA程序,編寫程式即可打造出符合使用者需求的SEM檢測流程。

 

  • PPI:Phenom Programming Interface

運用PPI創建屬於專屬工作流程,延伸使用程式語言控制Phenom Desktop SEM 功能,採集資料分析與量化。

  • PPA:Phenom Process Automation

用於使用者提出需求與Phenom供應商軟體應用工程團隊共同打造自動化流程。

Phenom Desktop SEM是一款易於使用的桌上型掃描式電子顯微鏡,經由Phenom團隊特別開發的直覺的使用者界,經測試僅需30分鐘即可學會操作,對於初學者來說相對容易上手。

樣品前製備(濺鍍機)

您可透過以下方法解決樣品電荷累積問題:

  • 使用濺鍍機,在樣品表面濺鍍導電材料
  • 透過碳膠帶、金屬材質膠帶,建立接地連結
  • 使用掃描式電子顯微鏡的低真空模式,降低真空值

濺鍍機依據濺射的靶材及原理不同,可細分為鍍金機、鍍碳機、鍍白金機、蒸鍍機等等,使用者可依據以下幾點評估合適的濺鍍機:

  • 靶材:依據需求選擇靶材,常見的靶材有:鍍碳、鍍金…等。
  • 電流:增加濺鍍電流可以有效提高濺鍍速率,並影響濺鍍顆粒的大小。
  • 真空度:樣品腔內的真空度,會直接影響等離子團聚速率與濺鍍速率。
  • 離子化氣體:使用空氣或是惰性氣體進行離子化,一般使用氬氣,而使用惰性氣體能使濺鍍效果較佳。
  • 濺鍍時間:可彈性設定的濺鍍時間,濺鍍時間會直接影響厚度,太厚會影響表面形貌觀測,太薄則導電效果不佳。

※延伸參閱《濺鍍機該如何選?從調整參數看起》

Agar鍍金機為簡易入門款濺鍍機;而Quorum濺鍍機可以進行更多更細節的參數設定,可支援的靶材種類較多元,其中包含多款特殊金屬靶材,搭配可旋轉的樣品載台,能使濺鍍效果更加均勻。

※延伸參閱《濺鍍機該如何選?從調整參數看起》

如果您想更深入了解桌上型掃描式電子顯微鏡及電子影像相關資訊,我們可以提供進一步的協助。請填寫下方表單留下聯絡資料,我們將安排專人與您聯絡,並提供您所需的專業指導和支援。

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