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磁場干擾EMI:瞭解並減輕交流和直流磁場

直流(DC)和交流(AC)磁場會產生磁場干擾,從而降低電子顯微鏡和電子束微影設備的性能,可以同時處理直流和交流的主動消磁系統是最簡單且具成本效益的解決方案。本篇將將說明什麼是直流磁場和交流磁場,以及磁場干擾如何影響各實驗室的設備。

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