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放大倍率高達2,000,000x
解析度優於 2 nm
放大倍率高達350,000x
解析度優於6nm
放大倍率高達200,000x
解析度優於 10 nm
具備高低能量兩支離子槍
快速切削和精細拋光功能
TEM 和FIB 樣品快速清潔和後處理
配置多種款式樣品台與配件
斜面切削、表面拋光
適用半導體故障分析和其他分析
可消除AC交流磁場干擾
可消除AC交流 & DC直流磁場干擾
可消除AC交流 & DC直流磁場干擾
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光學顯微鏡的解析度受限於光的波長,為了獲得更精細的影像,科學家利用電子製造了電子顯微鏡。電子顯微鏡的解析度是光學顯微鏡的1,000倍之多,甚至達到奈米等級。電子顯微鏡主要分為SEM及TEM兩種。前者藉由…