Phenom ProX
- SEM + EDS All in one system
- 體積小，防震佳，不受場地限制
- 全程自動化樣品台操作更具備樣品導航功能
- 獨有的光學鏡頭設計，放大倍率20x~135x
- 自動對焦，自動調整亮度與明暗對比
- 特殊樣品台設計，樣品不需鍍金直接觀看
- 真空系統：薄膜幫浦, TMP(無油式真空系統)
- 操作簡單，可搭配多種專業軟體
規格表
 |  |  | |
|---|---|---|---|
品項 | Pharos G2 | ProX G6 | XL G2 |
光學放大倍率 | 20-134x | 20-134x | 3-16x |
電子放大倍率 | 200-2,000,000x | 160-350,000x | 160-200,000x |
解析度 | SED≦2 nm and BSD≦3 nm | SED≦6 nm and BSD≦8 nm | ≤ 10 nm |
加速電壓 | 標準模式:5kV，10kV和15kV 進階模式:1kV至20kV之間可調 | 標準模式:5kV，10kV和15kV 進階模式: 4.8kV至20.5kV之間可調 | 標準模式:5kV，10kV和15kV 進階模式:4.8kV至20.5kV之間可調 |
真空模式 | 高真空模式 中真空模式 低真空模式 | 高真空模式 低真空模式 | 高真空模式 中真空模式 低真空模式 |
偵測器 | BSD EDS選配 SED選配 | BSD EDS SED選配 | BSD EDS 選配 SED 選配 |
樣品尺寸 | 最大可達 32mm
| 最大可達32mm | 範圍最大 100mm x 100mm 可放置36個12mm載台 |
樣品高度 | 最高可達 100mm | 最高可達 100mm | 最高至 40 mm |
樣品台
專業分析軟體
Phenom桌上型電子顯微鏡擁有完整的可擴充性，在SEM的基礎上增加了多種的分析軟體，滿足客戶進階分析的需求。
ProSuite 軟體
ProSuite 軟體包能夠使Phenom 電子顯微鏡使用者從拍攝的圖像中獲取大量的訊息，延展了SEM能力，滿足特定用戶的需求。
顆粒統計分析量測系統
顆粒統計分析量測系統能夠輕易獲得SEM圖像並分析產生報告，使用者能收集詳細的亞顆粒尺寸及粒度數據。
3D粗糙度重建系統
3D粗糙度重建系統使Phenom 電子顯微鏡能夠建立樣品3D圖像以及亞微米粗糙度量測。
Phenom自動化介面(PPI)
如果用戶想把Phenom電鏡整合或者創建一個客製的解決方案，Phenom自動化介面PPI是必不可少的。PPI可以控制Phenom電鏡的部分功能，包括樣品台、導航相機和影像拍攝…。
纖維統計分析量測系統
相對於以往手動量測數值，纖維統計分析量測系統能快速獲得更精確的數值，效率高，操作簡單，更可以測量和分析具有大纖維直徑差異的樣品。
孔徑統計分析量測系統
孔徑統計分析量測系統能夠輕易獲得SEM圖像並分析產生報告，使用者能收集詳細的孔徑分布及孔徑參數 (粒徑尺寸、長短軸比…)。
元素分析線面掃描系統
元素分析線面掃描系統是EID軟體中的選配項，能夠顯示出樣品的元素分布情形。使用者可以針對某個點自行設定像素分辨率與擷取時間後進行元素分析。