Spicer SC26 主動式消磁器 改善300mm線上電子束檢測設備磁場干擾問題

勀傑團隊 著

進入300mm晶圓廠中不難發現，當晶圓運輸天車在運作過程中，將會產生9 kHz的磁場干擾，嚴重影響周遭電子束檢測設備的性能，成為提升半導體CD節點技術的阻礙之一。『Spicer Consulting SC26型』透過系統的線圈對環境磁場進行負反饋的磁場來穩定機台運行的磁場穩定，恢復電子束檢測設備的性能。

Spicer主動式消磁器SC26的組成包括一個控制器，一個或兩個200 kHz磁場傳感器和一組三軸線圈，用以優化電子束檢測設備的性能。另外可使用擴充組合接頭，將SC26與SC24的磁場傳感器合併使用，更能大幅解決DC直流電干擾。Spicer SC26主動式消磁器是即時動態的，針對外部磁場變化為自動回應，回應時間小於10微秒。

SC26主動式消磁器不能採用像SC24一樣可以將其線圈安裝在機台整個房間內的安裝方式，通常直接安裝在電子束檢測設備機櫃內部進行運作。

Spicer SC26 主動式消磁器特點：

1. 使300 mm晶圓廠中的電子束檢測設備的環境磁場維持穩定狀態

2. 同時消除AC交流磁場以及DC直流磁場干擾

3. 適應10μs之內的磁場幅度和頻率變化

4. 觸控式螢幕介面(UI)

5. 針對外部磁場改變的瞬間反應時間為10微秒以內

6. 具有USB連接口提供監控

文章來源：https://www.spicerconsulting.com/sc22-magnetic-field-cancelling-system

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