大樣品艙 Phenom XL G2 Desktop SEM-實現生產線上即時品質管理

目前SEM掃描式電子顯微鏡已廣泛應用在許多行業中，用於分析微觀層面上的缺點和雜質，藉由分析的結果來調整生產過程，以確保產品在製造上都能符合高品質標準。但分析的過程中，研究人員被要求執行重複性的步驟來分析物件，不但花費大量時間外，也拉長生產過程的週期和人為錯誤的風險。

新一代Phenom XL G2 桌上型掃描式電子顯微鏡升級自動化系統

Thermo Fisher Scientific 於2020上半年推出新一代Phenom XL G2 Desktop SEM，與上代同樣可放置100 mm x 100 mm大型樣品，和40秒快速產生高解析度的電子成像，提供了快速、準確的訊息。

值得注意的是，新一代Phenom XL G2 桌上型掃描式電子顯微鏡升級自動化系統，可以依據客戶需求設定，以自動化方式克服問題與實現最佳化品質管理，減少檢測過程中人為發生的錯誤，提供快速精準的資訊，保持生產線上的流暢。

Phenom XL G2 桌上型掃描式電子顯微鏡，同時整合了使用者操作界面，將觀看圖像和進行元素分析的螢幕兩者結合為一個全螢幕畫面，為使用者提供了評估品質所有的即時訊息。

在研究人員發現樣品有疑似雜質的存在時，只要滑鼠點擊一下該位置，立即使用元素分析系統（EDS或稱EDX）分析所存在的元素成分與比重。

獨家 Auto Scan 功能

Phenom XL G2 桌上型掃描式電子顯微鏡特有的大樣品艙設計，最多可放置 36個樣品載台，搭配獨家Auto Scan 功能，使用者可依據需求設定相關參數，進行海量樣品一次性自動拍攝，像是「隨機取樣分析」、「單一位置多倍率分析」等，透過Auto Scan 功能可有效大量降低操作人員的重複性作業時間，並加速提升工作效率。

PPI 自動化軟體 (Phenom Programming Interface)

透過編譯軟體控制 Phenom desktop SEM 功能，撰寫符合客戶需求的標準化工作流程與報告，一次性完成多量樣品檢測或樣品大面積拍攝需求，大幅度減少人為誤差與節省操作者使用時間，並使後續操作簡易化。

PPI 自動化流程客製化

從自動化光學檢測AOI的概念延伸，以SEM成像取代光學影像，並由儀器本身的系統進行控制，再配合協力廠商進行軟體撰寫，完成客製化流程建置。

高自由度的Phenom XL G2 Desktop SEM

Phenom XL G2桌上型掃描式電子顯微鏡其機台體積小的特性，可放置於一般實驗桌或者生產線周邊，提供即時SEM檢測分析，大大降低一般落地型SEM對於環境上的考量與限制；具備大樣品艙及可放置多個載台優勢，可進行多量樣品、批量檢測，加上獨家 Auto Scan 功能及可客製化的PPI軟體，實踐檢測自動化、依需求客製流程的可行性，大幅減少人員誤差及冗長工時，增加品質管理的便利性。

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