Phenom XL新一代大樣品艙電子顯微鏡實現生產線上即時品質管理

Phenom SEM自動化系統依據客戶需求設定,以自動化方式實現品質管理

Thermofisher Scientific 於2020上半年推出新一代Phenom XL G2電子顯微鏡,與上代同樣可放置100 x 100 mm大型樣品,和40秒快速產生電子成像。
值得注意的是,新一代XL G2升級自動化系統,減少檢測過程中人為發生的錯誤,提供快速精準的資訊,保持生產線上的流暢。

圖一、新一代Phenom XL G2 大樣品艙電子顯微鏡

目前電子顯微鏡SEM已廣泛應用在許多行業中,用於分析微觀層面上的缺點和雜質,藉由分析的結果來調整生產過程,以確保產品在製造上都能符合高品質標準。
但分析的過程裡,研究人員被要求執行重複性的步驟來分析物件,不但花費大量時間外,也拉長生產過程的週期和人為錯誤的風險。


新的Phenom桌上型電子顯微鏡自動化解決方案可以克服這些問題。

Phenom XL G2自動化系統帶入了繁複的工作流程中,能分析100 x 100mm的大型樣品,並在40秒內獲得高解析度圖像,提供了快速、準確的訊息。

Phenom XL G2同時整合了使用者操作界面,將觀看圖像和進行元素分析的螢幕兩者結合為一個全螢幕畫面,為使用者提供了評估品質所有的即時訊息。
在研究人員發現樣品有疑似雜質的存在時,只要滑鼠點擊一下該位置,立即使用元素分析系統(EDS)分析所存在的元素。

圖二、Phenom XL G2正在進行金屬網內顆粒的EDS分析的螢幕畫面。



— 兩種電子顯微鏡自動化解決方案 —

● PPI: Phenom Programming Interface
  使用程式來控制電子顯微鏡的功能,擴展Phenom SEM更多的應用。
  透過使用Python的編程語言編寫自己的程式進行自動化工作流程。

● PPA: Phenom Process Automation
  透過PPI的編程,我們提供客製化的應用程序給用戶,有了這些工具,工作流程中的許多步驟可以自動化。

自動化系統方案:
•在(多個)樣本的特定區域上獲取圖像
•根據形態或結構搜尋和結構組成
•根據SEM圖像計算質量指標
•生成分析結果報告

 

圖三、Phenom XL G2自動化系統頁面。


Phenom XL G2大樣品艙顯微鏡機台體積小,能夠放置在一般實驗室中或者生產線即時檢測分析,大大降低一般電子顯微鏡對於環境上的考量與限制,增加品質管理的便利性。

我們將在Semicon Taiwan展會期間 K2488攤位  實機展示 Phenom XL G2

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