專為電性故障分析(EFA)設計的專用設備，全面電性故障分析技術應用、次微米級解析度可精確定位缺陷，並可自動定量、即時成像。以高效的工作流程、易用的軟體控制、多種故障定位技術、給予裝置開發至故障分析工作全面支援。
特點：
- 全面EFA技術應用
- 次微米解析度，精確定位缺陷
- 設計簡單易用，性能出色
- 整合且易於使用的定量軟體
- 電子束感應電流（EBIC）
- 電子束吸收電流（EBAC）
- 電阻對比成像（EBAC/RCI）
- 電子束感應電阻變化（EBIRCh）
- 揭示次微米級橫向解析度的電性，實現從EFA到PFA的全面橋接。
- 診斷製造和長期問題，包括汙染、金屬圖案缺陷、電阻互連器或電遷移。
- 直接隔離缺陷至確切的層次和晶片位置，縮短產品改進的時間。
- 能夠將結構缺陷與電性進行相關性分析。
- 映射接合處和電場的活躍區域。
- 驗證摻雜配置檔案和區域。
- 定位由斷裂、腐蝕、電遷移或異物顆粒引起的金屬線切割
- 識別由界面污染在通過互連處引起的電阻斷路
- 精確定位以進行直接TEM樣片FIB製備
- 在閘極氧化物（GOX）和電容器氧化物（COX）擊穿前視覺化並定位缺陷。
- 用次微米級解析度精確定位由ESD或EOS引起的氧化短路。
- 在局部定位期間以較低的nW功耗，以保存原始缺陷特徵。
- 圖像化去層化裝置中的接面和電場
- 在偏壓下映射太陽能電池的電性活動
- 將圖像行為與裝置模型進行比較
完整的電性故障分析設備：
- EFA控制器
- EFA DISS6影像
- DISS6 – 控制和擷取應用程式
- DIPS6 – 影像處理應用程式
硬體：
EFA控制器
- 多達8個探針的自動路由
- 用於低阻抗故障情況的原位電子裝置
- 兩級放大，實現最大範圍和最高速度
- 內置電壓偏置和電流補償電源
- 新型可選整合針頭清潔電源
EFA DISS6影像
- 整合的掃描生成器和影像擷取
- 超高解析度與高速度
- 高位深度EFA類比至數位轉換
- 同步的SE和EFA輸入
軟體：
DISS6 影像控制和截取應用程式
- 多合一設備：結合了掃描生成器和影像擷取功能，簡化了影像擷取流程，提供更多控制選項。
- 多種掃描模式：支援矩形點陣式和向量掃描，滿足不同的掃描需求。
- 自定義應用程式開發：開發者可使用提供的SDK創建自定義應用程式，滿足特定需求。
- 顯微鏡應用支援：針對SEM、FIB和STEM等顯微鏡應用進行設計，具有優異的性能。
- 高解析度和快速掃描速度：提供高達500百萬像素的影像解析度和快速的掃描速度。
- 多通道信號處理：同時擷取4個類比信號，高達12位數的數據擷取，有助於精確捕捉不同信號源的數據。
- 多功能觸發和同步選項：提供多樣的觸發和同步選項，確保數據一致性和準確性。
- 多種可選功能：包括MICS、CCD影片擷取器和20位數字鎖相放大器，擴充系統功能。
- 機架安裝選項：支援機架安裝，提供更多配置選擇。
- 軟體控制：所有控制和擷取集中在軟體中，方便用戶控制各種參數。
- 多信號顯示：支援同時顯示多達4個類比信號，包括次級電子、進階鏡頭等。
- 組合彩色影像：可混合不同信號生成複合彩色影像，並自定義彩色和強度設置。
- 定量工具：提供多種定量工具，用於測量和分析數據。
- 自定義掃描配置：用戶可以根據需要自定義掃描配置，包括快速即時掃描和高解析度掃描。
- 多種分析技術支援：包括元素分析和成分分佈分析等多種分析技術。
DIPS6 – 定量影像處理應用程式
- 快速顯示圖像和中繼資料
- 直觀的色彩管理
- 輕鬆的影像註釋和幾何測量
- 支援像素定量以及匯出影像和圖表
規格表：
EFA 控制器
輸入
- 8x 從奈米探針的 BNC 輸入
輸出
- 8x 供外部設備分析儀使用的 BNC 輸出
- 1x 用於成像的 BNC 放大器 EFA 信號
- 1x D-SUB 用於原位電子裝置的電源和控制
路由
- 8x 到原位/外部高/低或外部
- 高通至 EA 放大器或針頭清潔（選配）
- 低通至地或偏壓電壓
外部預放大器
- 103…1010 V/A 可變外部增益
- 0.5 MHz 頻寬在109 V/A 時
EA 放大
- 0.1…100x，16 位對比度
- 0…1 V，16 位亮度
- 類比信號反轉
- 8 級低通濾波器
- 手動零/暗校正
內部電源
- -10…10 V，16 位偏壓電壓
- -10…10 µA，16 位補償電流
原位前置放大器（選配）
- 8x 107 V/A 固定原位增益
- 0.1 MHz 頻寬
針頭清潔（選配）
- 0…10 V，0…10 µA 模式以破壞氧化物
- 0…2 V，0…20 mA 模式以蒸發污染物
- 可程式化自動坡度/清潔
- 即時電流和電壓監控
EFA DISS6 成像
信號輸入
- 1x 校準的外部 EA
- 8x 校準的原位 EA（選配）
- 4x 校準的 SEM
MICS 放大器（選配）
- 1…1 V 輸入偏移（校準亮度 1…4）
- 1…1,800× 增益（校準對比度 1….4）
- -1…1 V 輸出偏移（校準參考 1…4）
- 3.4 MHz … 34 Hz 低通濾波器
數位化
- 16 位外部 EA
- 12 位原位 EA
- 12 位 SEM，保存為 16 位
- 32,000× 最大過度取樣（像素平均）
掃描產生器
- X 和 Y 掃描輸出（校準）
- 束空白輸出（選配）
- 64k × 64k 像素最大解析度
- 0.5 GPixels 最大畫面大小（軟體限制）
- 1 µs 最小像素停留時間（EA 輸入限制）
- 6 毫秒最大像素停留時間
- 256× 最大畫幅平均
- 50x 最大線條平均
- 畫幅，線條，像素同步（選配）
PC/筆電、顯示器
PC/筆電
- 至少Intel Core i3
- 至少2x USB 2.0
顯示器
- 至少1280 x 1024解析度
操作系統
- Windows 11至Windows 7
- 建議使用網絡連接
DISS6應用程式
EFA 路由
- 8x 探針到原位、外部或外部
- EA 放大器、偏壓、補償或針頭清潔
電壓電流（IV）控制
- 電壓範圍、步進、時間
- CSV 數據匯出
EA 放大器控制
- 增益、對比度、亮度、偏壓、補償、反轉
- 保存/載入放大器配置文件
MICS 放大器控制
- 8x 亮度和對比度
DISS6 成像控制
- 可配置的掃描配置文件
- 信號，像素大小，速度，平均，同步
- 手動/自動圖像範圍
檢查工具
- 自動定量像素值
- 可編輯的公式文件
圖像混合工具
- 手動顏色分配
- 即時混合並匯出圖像
保存檔案格式
- 未壓縮的8位或16位多頁TIF
- 壓縮的JPEG
- XMP中繼資料嵌入到TIF和JPEG中
操作系統
- Windows 11至Windows 7
DIPS6應用程式
輸入檔案格式
- 未壓縮的8位或16位多頁TIF
- 壓縮的JPEG
- XMP中繼資料嵌入到TIF和JPEG中
匯出檔案格式
- PNG圖像
- 具有像素值的CSV數據
查看模式
- 單頁圖像和中繼資料
- 多頁/檔案
- 圖層/圖像混合檢視
定量
- 使用XMP值和公式的自動定量
- 使用XML公式的手動定量
偽彩色
- 基於GGR梯度的彩色映射
- 範圍的自動和手動控制
操作系統
- Windows 11至Windows 7
零組件與連接線
- EFA 控制器 – 標準 1x
- EFA DISS6 成像 – 標準 1x
- EFA 接地帶 – 標準 1x
- EFA 信號線 – 標準 1x
- SEM 外部掃描接口連接線 – 標準 1x
- USB 連接線 – 標準 2x
- 帶軟體的 USB 隨身碟 – 標準 1x
- EA 參考樣本 – 選配
- EFA 原位電子裝置 – 選配
- 帶有進料槽的法蘭 – 選配
- PC，鍵盤，滑鼠 – 選配 1x
- 顯示器 – 選配 1x
軟體套件
驅動程式
- PEUSB
控件庫
- EBIC控件庫
- DISS6控件庫
應用程式
- DISS6 應用程式
- DIPS6 應用程式
伺服器
- EMGateway
重量和尺寸
EFA 控制器
- 23.5 x 8.7 x 29.5 公分
- 3.1 公斤（典型）
- 23.5 x 8.7 x 29.5 公分
- 3.7 公斤（典型）
- 8.5 公斤（典型）
- 36 x 32 x 56 公分（典型）
現場要求
電源
- 1x 交流電 110/220 VAC 單相 50-60 Hz
- 與顯微鏡在相同的接地
顯微鏡
- 8x 接觸奈米探針
- 1x 連接到原位電子裝置（選配）
- 1x 連接到 SEM 接地
- 1x 混合掃描接口和 SEM 信號連接
空間
- EFA 控制器可以放在 19 英寸機櫃或桌子上
- EFA DISS6 成像器可以放在 19 英寸機櫃或桌子上