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電子顯微鏡樣品前製備必備儀器,常應用於不導電或導電性較差之樣品,透過濺鍍導電靶材大幅增加樣品導電性、有效減少電荷效應,以提升SEM、TEM電子成像清晰度,同時降低電子顯微鏡真空腔體汙染,有利高解析成像及電子顯微鏡觀測。
產品品牌:Agar Scientific
產品特色:
● 可擴充大腔室(150mm x 165mm ~ 250mm) ● 自動洩真空/自動濺鍍程序 ● 按鈕式操作介面 ● 可選配膜厚儀、旋轉傾斜載台 ● 可支援靶材:Au 金、Pd 鈀、Pt 鉑(白金)
濺鍍(鍍金)前後於掃描式電子顯微鏡下觀測結果
規格說明:
● 樣品艙大小:標準 120mm(Ø) x 120mm height ● 濺射靶材規格:標配 57 mm(Ø) x0.1 mm thick 金靶材 ● 電流(mA):10~40 ● 時間(秒):5~300 ● 抽真空幫浦:機械油式幫浦 ● 真空度:40 mbar *大腔室、膜厚儀、旋轉傾斜載台為選配項目