3D粗糙度重建系統(3D Roughness Reconstruction Software)

Phenom Desktop SEM是由Thermo Fisher Scientific旗下的品牌Phenom所開發的一款桌上型電子顯微鏡。Phenom Desktop SEM具有輕巧建置與易於使用操作等特點，能夠提供高解析度電子圖像和快速產出分析結果，Phenom更是開發出多款獨家專門分析軟體，可得到更多詳細的SEM成像表面形貌與結構特徵等訊息，幫助研究人員更快速、更準確地進行分析和研究，提高研究的效率和準確性。

軟體說明：

3D Roughness Reconstruction 3D粗糙度重建軟體，用於3D成像樣品的特徵。

使用 Thermo Scientific Phenom 桌上型掃描式電子顯微鏡(SEM)搭配 3D Roughness Reconstruction 3D粗糙度重建軟體，夠建立樣品3D圖像以及次微米粗糙度量測。一般的2D影像很難辨識凹痕、刮痕和毛刺，透過3D粗糙度重建軟體能夠使研究員更容易觀察到這些特徵。
另外，量測平均粗糙度(Ra)和粗糙高度(Rz)在控管產品生產過程是非常重要的一環，相比使用傳統(間接)量測方法，由電子顯微鏡的3D粗糙度重建軟體能獲得更多更好的樣品解析資訊。

●　3D 成像有助於觀測分析樣本特徵，並使更多使用者可以理解SEM圖像
●　使用“shape from shading”技術，不需傾斜樣品載台
●　直觀的使用介面，操作便利，能快速重建3D圖像