智能離子研磨系統 Ion milling 【SEMPrep Smart】

//高精度電子顯微鏡樣品製備解決方案：改善機械拋光易污染樣品的問題
多功能智能離子研磨機+SAS樣品精準定位器
實現掃描式電子顯微鏡(SEM)高品質製備分析結果//

智能離子研磨系統 Ion milling-Smart 產品特色

Ion Milling-Smart 全新設計智能觸控式介面
讓操作更直覺、使用更簡單便利

●　高能量離子槍實現高效率截面切割、研磨拋光。
●　低能量離子槍適用於精細拋光和表面清潔 (*選配)
●　可進行樣品30°及90°截面切割。
●　專用SAS樣品校準器，對位精準度±1um。
●　高解析度數位相機即時觀察樣品研磨過程。
●　自動檢測離子束強度並即時調整氬氣壓力等各項參數。
●　智能監控氬氣系統、冷卻系統、離子槍供電系統等，可即時顯示系統狀態。
●　可選配真空傳輸系統(VTU)完善樣品轉移流程，空氣敏感材料也能進行製備。
●　可選配液氮(LN2)或Peltier樣品冷卻系統。

Ion Milling-Smart 樣品製備專用
SAS樣品校準器(Sample Alignment Station)

●　適用於微米級樣品精密切割前的準備，對位精準度±1um。
●　高精度距離測量、總放大倍率超過 300 倍。
●　由樣品製備平台、切割製備校準平台和數位顯微鏡組成。
●　載物台可傾斜，方便由各角度觀察樣品定位。
●　適用於鋰離子電池隔離膜、半導體等樣品觀察特定細微位置。