智能控制電漿清洗機 EM-KLEEN Plasma Cleaner

產品品牌：PIE Scientific

產品特色：

●　在6分鐘或更短的時間內清潔通常污染的SEM 樣品。
●　氫等離子體清潔ALD 樣品2 至60 秒中間無需減速或關閉渦輪泵。
●　低等離子體電位設計可減少離子濺射和顆粒產生。
●　結合專有的多級氣體過濾技術，滿足半導體客戶最嚴格的顆粒要求。
●　獨特的等離子強度傳感器實時監測機台狀態。
●　壓力傳感器反饋控制的自動電子氣流控制。
●　低EMI 設計，安靜的待機模式。