桌上型電漿清洗機 Tergeo Plasma Cleaner

KCT-agent-PIE-scientific-plasma-cleaner-Tergo-product
  1. 機台為雙等離子源體設計。
  2. 浸漬等離子體源: 應用於侵蝕性表面處理,光致抗蝕劑蝕刻。
  3. 遠程等離子體源: 應用於在微細樣品上,溫和去除污染和表面活化。
  4. 可即時監控等離子源強度。
  5. 高純石英樣品室和樣品座。

Remove carbon depositon in STEM mode

KCT-agent-PIE-scientific-plasma-cleaner-Tergo-application-01

Ted-pella 3nm ultrathin Lacey carbon

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Before plasma cleaning
After plasma cleaning
Before plasma cleaning
Membrane is not damaged after 8 minutes plasma cleaning

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