
產品品牌:Quorum
Quorum的Q300T系列是一款大型腔室渦輪泵鍍膜系統,適用於鍍膜直徑達 150 ~200毫米的樣品或多個直徑相似的小樣品,依據不同型號配備1-3個濺鍍靶材,以確保單個大型樣品或多個樣品的均勻沉積。非常適合薄膜應用和 SEM/FE-SEM樣品製備。其型號包含Q300T D Plus、Q300T T Plus、Q300T ES Plus。
濺鍍機/蒸鍍機在樣品前製備時可為不導電或導電性較差的樣品增加導電性,減少電子所導致的電荷累積效應,使得電子成像更加清晰,有利電子顯微鏡的觀察與應用。
產品特色:
● 可達 5x10⁻⁵ mbar 的真空度
● 觸控操作螢幕
● USB 連接埠用於升級和下載事件記錄檔案
● 可以在一台儀器上設定多個使用者設定檔
● 16GB記憶體可儲存1000多種參數配置
● 彩色 LED 狀態指示燈
● 能夠濺鍍非氧化性和氧化性金屬,例如 Cr、Ir、W、Al、Ti、Au、Pt
產品型號:Q300T
➤ Q300T D Plus
▪︎雙濺射頭可為直徑最大為 150 毫米的樣品,依序濺鍍兩種不同的金屬,且不需破壞真空
▪︎標準配置為 1 個鉻靶和 1 個金靶
➤ Q300T T Plus
▪︎三重濺鍍頭可濺鍍直徑達 200 毫米的樣品
▪︎標準配置為 3個鉻靶
➤ Q300T ES Plus
▪︎單濺射頭可濺鍍直徑達 150 毫米的樣品,標準配置為1個鉻靶
▪︎可進行碳棒蒸鍍(可選碳絲纖維蒸鍍)