奈米級電性的原位成像，以深入了解奈米級材料和裝置的行為和特性，可用於半導體材料、太陽能電池、光電器件、材料科學、電子元件研究和材料性能評估。系統裝置完全整合且由軟體控制，與所有具有外部掃描介面的TEM相容。所有放大和採集設置均由軟體控制。每個信號都會自動定量並顯示為電流值（µA、nA、pA）。
特點：
- 用於原位TEM的一站式解決方案
- 與所有具有外部掃描介面的TEM相容
- 電子裝置完全整合且由軟體控制
- 整合且易於使用的定量軟體
- 映射接合處和接觸活性區域
- 根據設計或模型驗證摻雜分佈
- 在偏壓下觀察電性行為
- 匯出數據以定量擴散長度
- 定位具有較高結合活性的區域。
- 持續使用高解析度顯微鏡技術。
- 匯出數據以定量結合強度。
-
- 電子束感應電流 (EBIC)
- 電子束吸收電流 (EBAC)
- 電阻對比成像 (EBAC/RCI)
- 電子束感應電阻變化 (EBIRCh)
- 繪製電阻分佈的空間分布圖
- 識別元件中的短路和斷路
- 定位弱點和漏電路徑
- 在SEM中充分利用廣泛視野，以選擇目標
- 在FIB/SEM中即時使用EA以防止製備錯誤
- 在轉移到TEM之前在SEM中篩選薄片
完整的TEM電學分析系統
- TEM掃描控制器(DISS6)
- 用於 TEM 的 EA 放大器
硬體：
穿透式電子顯微鏡掃描控制器 TEM Scan Controller
- 多種掃描模式、高精度的掃描生成器、數位化能力。
- 掃描訊號可適用於主流TEM 外部掃描介面的類比輸出。
- 具觸控面版，提供掃描狀態概述、已安裝選項列表等資訊。
- 可透過 USB 或 ETH 介面連接到 PC 或筆電。
- 標準控制和資料接口，適用於 Windows 和 Linux。
- 可選的擴充選項，如電子計數、鎖相放大器和MICS放大器。
用於 TEM 的 EA 放大器
- 第一級類比放大可實現最小噪聲
- 適用於所有 EA 技術和樣品的廣泛增益範圍
- 內建電壓偏移和電流補償
- 自動訊號路由以避免電擊放電
- 可切換低通濾波器進行信號過濾
- 自動歸零
軟體：
DISS6 影像控制和截取應用程式
- 多合一設備：結合了掃描生成器和影像擷取功能，簡化了影像擷取流程，提供更多控制選項。
- 多種掃描模式：支援矩形點陣式和向量掃描，滿足不同的掃描需求。
- 自定義應用程式開發：開發者可使用提供的SDK創建自定義應用程式，滿足特定需求。
- 顯微鏡應用支援：針對SEM、FIB和STEM等顯微鏡應用進行設計，具有優異的性能。
- 高解析度和快速掃描速度：提供高達500百萬像素的影像解析度和快速的掃描速度。
- 多通道信號處理：同時擷取4個類比信號，高達12位數的數據擷取，有助於精確捕捉不同信號源的數據。
- 多功能觸發和同步選項：提供多樣的觸發和同步選項，確保數據一致性和準確性。
- 多種可選功能：包括MICS、CCD影片擷取器和20位數字鎖相放大器，擴充系統功能。
- 機架安裝選項：支援機架安裝，提供更多配置選擇。
- 軟體控制：所有控制和擷取集中在軟體中，方便用戶控制各種參數。
- 多信號顯示：支援同時顯示多達4個類比信號，包括次級電子、進階鏡頭等。
- 組合彩色影像：可混合不同信號生成複合彩色影像，並自定義彩色和強度設置。
- 定量工具：提供多種定量工具，用於測量和分析數據。
- 自定義掃描配置：用戶可以根據需要自定義掃描配置，包括快速即時掃描和高解析度掃描。
- 多種分析技術支援：包括元素分析和成分分佈分析等多種分析技術。
DIPS6 定量影像處理應用程式
- 快速顯示圖像和中繼資料
- 直觀的色彩管理
- 輕鬆的影像註釋和幾何測量
- 支援像素定量以及匯出影像和圖表
規格表：
用於原位偏壓夾具的EA電子裝置
輸入通道
- 4x 到原位偏壓夾具，或
- 6x 到原位偏壓夾具
路由
- EA高（前級放大器）
- EA低（地或偏壓電壓）
- 外部
前級放大器
- 可變增益104…109 V/A
- 大約100 kHz頻寬在107 V/A時
內部電源
- -5…5 V，16位元偏壓電壓
- -1…1 µA，16位元補償電流
- 10 µA、30 µA和100 µA的偏壓電流限制
TEM掃描控制器（DISS6）
信號輸入
- 1x校準EA
- 4x STEM
數位化
- 20位元EA，保存為16位元，1 Msps
- 12位元STEM，保存為16位元，100 Msps
掃描發生器
- X和Y掃描輸出（校準）
- 光束閃爍輸出（可選）
- 64k × 64k像素最大解析度
- 0.5 GPixels最大畫面大小（軟體限制）
- 1 µs最小像素停留時間（EA輸入限制）
同步
- 像素、行和畫面觸發輸出
- 10 ns至100 ms觸發持續時間
- 像素、行和畫面觸發輸入
PC/筆記型電腦、顯示器
- 最低配置：Intel Core i3
- 最低要求：2 × USB 2.0
- 顯示器最低解析度：1,280 × 1,024
- 建議使用1個顯示器
- 操作系統：Windows 11至Windows 7
- 建議使用網絡連接
DISS6應用程式
EA放大器控制
- 增益、對比度、亮度、偏壓、補償、反向
- 儲存/讀取放大器設置
TEM掃描控制（DISS6）
- 可配置的掃描配置
- 信號、像素解析度、速度、平均、同步
- 手動/自動影像範圍
檢查器工具
- 像素值自動定量
- 可編輯的公式文件
電流電壓（IV）工具
- 電壓範圍、步驟、時間
- 具有數據和圖形匯出的即時繪圖
影像混合工具
- 手動顏色分配
- 即時混合並匯出影像
儲存檔案格式
- 未壓縮8位或16位多頁TIF
- 壓縮JPEG
- XMP中繼資料嵌入TIF和JPEG
操作系統
- Windows 11至Windows 7
DIPS6應用程式
輸入檔案格式
- 未壓縮8位或16位多頁TIF
- 壓縮JPEG
- XMP中繼資料嵌入TIF和JPEG
匯出檔案格式
- PNG圖像
- 具有像素值的CSV數據
檢視模式
- 單頁圖像和中繼資料
- 多頁/檔案
- 圖層/影像混合檢視
定量
- 自動，使用XMP值和公式
- 手動，使用XML公式
虛擬色彩
- 基於GGR梯度的顏色映射
- 自動和手動控制範圍
註釋
- 標籤、箭頭、線條、矩形、圓圈
測量
- 距離、角度
- 線條剖面
- 直方圖
操作系統
- Windows 11至Windows 7
零組件與連接線
- EA偏壓夾具電子裝置 標準1x
- TEM掃描控制器（DISS6）具有LIA輸入 標準1x
- EA偏壓夾具連接線 標準1x
- EA接地 標準1x
- TEM信號連接線 標準1x
- TEM外部掃描接口連接線 標準1x
- USB連接線 標準1x
- 帶軟體的USB隨身碟 標準1x
- EA參考樣品 可選1x
- PC、鍵盤、滑鼠 可選1x
- 顯示器 可選1x
軟體套件
驅動程式
- PEUSB
- DISS6控件庫
應用程式
- DISS6軟體
- DIPS6軟體
伺服器
- EMGateway
重量和尺寸
EA偏壓夾具電子裝置
- 66毫米長（典型）
- 直徑60毫米（典型）
EA DISS6影像
- 64 x 8.7 x 29.5公分
- 3.4公斤（典型）
運輸
- 尺寸36 x 32 x 56公分（典型）
- 重量7.5公斤（典型）
現場要求
電源
- 1x主電110/220V AC單相50-60 Hz
- 與顯微鏡相同的接地
顯微鏡
- 1x偏壓夾具（參見兼容型號）
- 1x外部掃描接口
- 1x影片連接（建議HAADF）
- 1x顯微鏡接地
空間
- EA電子裝置必須安裝在TEM原位偏壓夾具上
- TEM掃描控制器可放置在TEM電子裝置架上