桌上型電漿清洗機 Tergeo Plasma Cleaner – Plus

產品品牌：PIE Scientific

產品型號：Tergeo-Plus

產品特色：

●　大樣品室（內徑：160mm，長度：280mm），足以容納一個4英寸的晶舟和一個6英寸的晶圓
●　浸潤模式：浸潤式等離子體源，應用於侵蝕性表面處理、表面改質、光致抗蝕劑蝕刻
●　溫和模式：溫和式等離子體源，應用於在微細樣品上，溫和地去除表面污染物和表面活化
●　可即時監控等離子源強度
●　高純石英樣品室和樣品座
●　TÜV Rheinland 認證並確認符合 UL、IEC 和 CSA 61010-1 安全標準、 符合 NRTL 標準

產品規格：

●　功率：13.56MHz 時，可支援150watt、300watt、500watt 
●　腔體尺寸：內徑：160mm； 外徑：170mm； 深度 280mm

Remove carbon depositon in STEM mode

Ted-pella 3nm ultrathin Lacey carbon