Thermo Fisher Scientific 提供 / Kulicke & Soffa Liteq B.V. 受訪
勀傑科技(Mignon Kao) 譯
Kulicke & Soffa（庫利索法）是領導半導體封裝的供應商，爲電子組裝提供解決方案，支持全球汽車、消費、通信、計算和工業市場。
光刻技術是半導體和電子工業中使用的一項重要且細微的加工技術，涉及將光敏材料塗覆於基材，應用帶圖案的掩模，然後將其暴露於輻射或化學品以在表面上產生帶圖案的塗層，考量到光刻佔集成電路生產成本的30％，其重要性顯而易見。
「在 Kulicke & Soffa，我們製造需要符合嚴格質量要求的世界級光刻步進器」，Sylvain Misat 說：「在研發實驗室，我們選擇了 Thermo ScientificTM Phenom XLTM 桌上型掃描式電子顯微鏡 (SEM) 作為我們製程驗證程序的一部分，除了易用性和能容納 100 mm x 100 mm 樣品大小之外，Thermo Scientific Phenom XL 還擁有各類型的桌上型SEM中最快的放樣速度。」
品質控制: 檢測樣品
「在小規模生產運行後，我們會檢查客戶的樣品以確定最佳的製造條件。」Misat 繼續說道：「為此，我們將樣品載入顯微鏡，然後仔細測量臨界尺寸（critical dimension, CD）和側壁厚度（sidewall thickness, SW）。臨界尺寸和側壁厚度是提供光刻製程信息的重要參數。」
對於典型的出廠測試（Factory Acceptance Tests, FAT），臨界尺寸和側壁厚度必須測量約 85 次，這需要花費一個完整工作日的時間才能完成，而我們的任務是每兩週進行一次出廠測試，因此需要提高實驗室的產量和效率。
為什麼要訂製自動化分析程式呢？
Thermo Scientific Phenom Process Automation (PPA) 提供專門的應用工程師來幫助客戶開發自動化程式，使生產或研發中的用戶能夠執行快速、高效和可靠的分析。
「在與 Thermo Fisher Scientific 的軟體應用團隊協商後，描述了我們的獨特需求，以找到增加產量的解決方案。 隨後，專門為我們的樣品設計了一個軟體應用程序，該應用程序使我們能夠在預定義位置自動測量臨界尺寸和側壁厚度。 這不僅可以節省時間，而且這些自動測量可以防止測量誤差或使用者間潛在的測量差異。」
自動化的好處
對於該應用程序，工作流程涉及放置樣本以及設置需要進行測量的所有位置的坐標，這些坐標相對於用戶在執行對齊過程後移動到的參考位置。顯示突出顯示了應用程序的工作流程。
手動進行精確測量需要使用者長時間不停地關注，而應用程序會自動進行這些測量，無需額外操作流程。
該應用程序可在 6 微米的距離內進行自動測量，與僅在一個位置進行的手動測量相比，這種測量結果更可靠。
在執行量測程序後，程式會顯示所有相關測量值並導出到 CSV 文件。
「在 Thermo Fisher ScientificTM 的幫助下，實驗室的效率提高了，不僅將繁重的手動測量任務自動化，而且使用者僅需操作一小部分工作，減少操作員間的誤差，讓測量結果更加可靠。」
若您有桌上型電子顯微鏡或SEM自動化檢測等相關需求想要討論，或想要更進一步了解更多相關知識！
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