Thermo Fisher Scientific 提供 / Kulicke & Soffa Liteq B.V. 受訪
勀傑科技(Mignon Kao) 譯
Kulicke & Soffa(庫利索法)是領導半導體封裝的供應商,爲電子組裝提供解決方案,支持全球汽車、消費、通信、計算和工業市場。
光刻技術是半導體和電子工業中使用的一項重要且細微的加工技術,涉及將光敏材料塗覆於基材,應用帶圖案的掩模,然後將其暴露於輻射或化學品以在表面上產生帶圖案的塗層,考量到光刻佔集成電路生產成本的30%,其重要性顯而易見。
「在 Kulicke & Soffa,我們製造需要符合嚴格質量要求的世界級光刻步進器」,Sylvain Misat 說:「在研發實驗室,我們選擇了 Thermo ScientificTM Phenom XLTM 桌上型掃描式電子顯微鏡 (SEM) 作為我們製程驗證程序的一部分,除了易用性和能容納 100 mm x 100 mm 樣品大小之外,Thermo Scientific Phenom XL 還擁有各類型的桌上型SEM中最快的放樣速度。」
品質控制: 檢測樣品
「在小規模生產運行後,我們會檢查客戶的樣品以確定最佳的製造條件。」Misat 繼續說道:「為此,我們將樣品載入顯微鏡,然後仔細測量臨界尺寸(critical dimension, CD)和側壁厚度(sidewall thickness, SW)。臨界尺寸和側壁厚度是提供光刻製程信息的重要參數。」
對於典型的出廠測試(Factory Acceptance Tests, FAT),臨界尺寸和側壁厚度必須測量約 85 次,這需要花費一個完整工作日的時間才能完成,而我們的任務是每兩週進行一次出廠測試,因此需要提高實驗室的產量和效率。
為什麼要訂製自動化分析程式呢?
Thermo Scientific Phenom Process Automation (PPA) 提供專門的應用工程師來幫助客戶開發自動化程式,使生產或研發中的用戶能夠執行快速、高效和可靠的分析。
「在與 Thermo Fisher Scientific 的軟體應用團隊協商後,描述了我們的獨特需求,以找到增加產量的解決方案。 隨後,專門為我們的樣品設計了一個軟體應用程序,該應用程序使我們能夠在預定義位置自動測量臨界尺寸和側壁厚度。 這不僅可以節省時間,而且這些自動測量可以防止測量誤差或使用者間潛在的測量差異。」
自動化的好處
對於該應用程序,工作流程涉及放置樣本以及設置需要進行測量的所有位置的坐標,這些坐標相對於用戶在執行對齊過程後移動到的參考位置。顯示突出顯示了應用程序的工作流程。
手動進行精確測量需要使用者長時間不停地關注,而應用程序會自動進行這些測量,無需額外操作流程。
該應用程序可在 6 微米的距離內進行自動測量,與僅在一個位置進行的手動測量相比,這種測量結果更可靠。
在執行量測程序後,程式會顯示所有相關測量值並導出到 CSV 文件。
「在 Thermo Fisher ScientificTM 的幫助下,實驗室的效率提高了,不僅將繁重的手動測量任務自動化,而且使用者僅需操作一小部分工作,減少操作員間的誤差,讓測量結果更加可靠。」
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