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磁場屏蔽

主動式雙消磁系統:解決鐵電材料研究中的磁場干擾問題

在Spectra 300 TEM上安裝了2X SC24主動雙消磁系統後,外部干擾已經明顯改善。透過四顆磁場探頭所取得的資料,可見在高度3公尺至0.5公尺範圍內不論是X、Y、 Z方向其數值皆低於20nT。故Spectra 300 TEM可不受磁場干擾影響,而能以最高倍率運作、取得高品質影像。

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磁場屏蔽技術推進半導體微型元件研發製程

磁場屏蔽技術對於半導體製程頗具重要性。半導體產業不斷投入微型元件的研發,其工廠通常採用吊頂式單軌系統,以在站點之間運輸組件以進行自動裝載和加工,這些高架系統通常會產生9 kHz的磁場,這對成像品質產生極大負面影響,必須將其消除以提高解析度,恢復電子顯微鏡原有的效能。

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