主動隔振台與被動隔振台有何差異

隔振台廣泛應用於電子顯微鏡、半導體以及顯示器製造等各類產業。為了減少環境振動對設備性能的影響,瞭解主動隔振台與被動隔振台的差異至關重要。被動隔振台利用彈簧和阻尼器的自然特性來減少振動;而主動隔振台則使用帶有集成傳感器和執行器的控制系統,實現對低頻振動更為有效的控制。

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