突破電子顯微鏡成像瓶頸—新SC24 Plus全面監控多種環境干擾、消除EMI問題

隨著微電子元件、微控制器時代來臨,半導體製程需要更高倍率的成像品質。然而,來自於外部環境如EMI等眾多干擾容易影響解析度,要釐清是否為設備故障問題往往需要耗費大量時間成本。

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