SC28

智能檢測儀SC11、SC28挾帶其優勢已成為國內外科技大廠所使用，用於測量包含CD-SEM、EBL或其它半導體設備的環境參數以確保符合規定。多功能整合的智能軟體滿足：磁場強度測試、震動三軸測量、聲音分貝檢測，當下即可看測量的參數變化。

在許多情況下，我們必須對環境做量測或監控，以確保環境在符合標準的磁場、震動、聲波等範圍內。例如：在安裝電子顯微鏡、電子束微影系統、CD-SEM 和聚焦離子束顯微鏡等儀器之前的環境評估、找出實驗室設備運作問題的原因、長期維持敏感設備穩定度等等。