環境干擾會影響電子束設備運作而導致檢測結果精準度下降,若是置之不理甚至可能影響到整體製程、讓成本大幅上升。因此,不論是實驗室要安裝電子束設備的場地勘察、釐清以改善干擾源造成的設備故障、長期監控環境參數等等都會有環境量測的需求。
英國環境改善專家Spicer Consulting的智能檢測儀SC11、SC28挾帶其優勢已成為國內外科技大廠所使用,測量包含CD-SEM、EBL或其它半導體設備的環境參數以確保符合規定。市面上環境量測工具五花八門,Spicer的智能檢測儀成為各家首選的原因在於:
【Spicer檢測儀】磁場強度測試誤差小
測量磁場干擾一般包含:磁場強度、磁場方向及磁場變化。常見的磁場強度測試儀器包含:磁強計、霍爾效應傳感器、線圈探頭等。
Spicer系列的智能檢測儀可X、Y、Z三個方向同時量測,故取得的數據可以較為精準。相較於一般磁場強度測試儀若僅能一次測量一個方向,容易因為短時間的磁場變化而產生些微誤差,加上每測量一個方向後都需重新歸零,也增加了人為因素導致的數據誤差。
此外,Spicer系列的智能檢測儀偵測出的數據不含地磁,若是在需要確保測試結果不受地磁干擾的一些應用上,會比包含地磁數據的一些磁場強度測試儀更適合。
【Spicer檢測儀】震動三軸測量更全面準確
測量震動干擾包含:震動幅度、頻率、速度、加速度及位移。
在震動測量上,Spicer系列的智能檢測儀同樣具X、Y、Z三軸同時量測的優勢,並提供震動幅度、頻率、速度、加速度及位移等多個方向上的震動參數。相較於單軸的震動測量儀,Spicer檢測儀可取得更為準確的資訊。
【Spicer檢測儀】多功能整合的智能軟體-磁場、震動、分貝測量一併搞定
磁場強度測試儀、震動量測儀、聲音分貝計等設備分開採購令人頭痛,市面上雖有部分設備商可依需求加裝不同測量配備,但在軟體上如未整併完全,在數據分析上仍有儲多不便。
Spier檢測儀可測量磁場、震動和噪音(SC28還可多測量溫度與溼度),更重要的是,其內建智能軟體可整併所有偵測的環境干擾源數據,當下即可看測量的參數變化。
Spicer智能檢測儀量測服務方案
我們獨家代理Spicer Consulting的智能檢測儀包含SC11、SC28,同時也提供這些設備的環境量測服務(長期/短期)方案,可偵測磁場、震動、噪音、溫度、溼度干擾源。
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