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Spicer SC26 主動式消磁器 改善300mm線上電子束檢測設備磁場干擾問題

應用專欄 / 作者:

進入300mm晶圓廠中不難發現，當晶圓運輸天車在運作過程中，將會產生9 kHz的磁場干擾，嚴重影響周遭電子束檢測設備的性能，成為提升半導體CD節點技術的阻礙之一…

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