磁場干擾EMI：瞭解並減輕交流和直流磁場
直流(DC)和交流(AC)磁場會產生磁場干擾，從而降低電子顯微鏡和電子束微影設備的性能，可以同時處理直流和交流的主動消磁系統是最簡單且具成本效益的解決方案。本篇將將說明什麼是直流磁場和交流磁場，以及磁場干擾如何影響各實驗室的設備。
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消磁器
如何提高電子束微影的良率：掌握消磁器選擇的關鍵
2023年半導體雖然面臨後疫情時代的市場挑戰，先進製程微縮仍是半導體製造業的發展趨勢，其中電子束微影（Electron Beam Lithography，簡稱EBL）更是具潛力發展的技術之一，其應用範圍包含：微小電子元件、生物芯片、光學元件、量子器件、奈米結構材料、微型機械結構等領域。因此，如何在複雜技術中提高良率以降低成本，解決電磁干擾等環境問題至關重要。
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認識「主動式消磁器」與「被動式消磁機」
高性能電子束的設備對磁場變化非常敏感，當環境磁場發生變化時，會造成電子顯微鏡中的電子束偏轉，進而導致機台的分辨率和測量精準度下降。這時候消磁…
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