直流磁場干擾對電子顯微鏡和電子束光刻設備的影響
在電子顯微鏡或電子束光刻設備附近,直流磁場強度的變化可能降低影像品質(如:導致影像失真、模糊或漂移)並影響生產效率。直流磁場變化的常見來源包括電梯、火車、卡車和金屬門。針對這些直流磁場干擾問題的解決方法,通常依據每個實驗室的設計和設備配置的不同而有所調整。
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