Technoorg Linda SEMPrep2 離子研磨機 獨家功能大幅提升製樣品質

Win 10友善操作介面,搭載液氮自動偵測填充系統及真空移轉樣品台,提高製樣結果

Technoorg Linda來自歐洲匈牙利大廠,為各種材料和樣品提供最高質量的離子束減薄技術,產品應用遍及工業界精密實驗室、政府機關和學術領域,目前在全球五大洲的近40個國家/地區擁有合作夥伴,未來將持續提高關鍵技術幫助客戶突破樣品製備的困境。

圖一、Technoorg Linda SEMPrep2離子研磨機

將樣品送入SEM分析時,會需要依據分析的需求進行樣品前製備,Ion milling提供兩種模式處理樣品

離子束截面研磨(Cross Section Polish, 簡稱CP)

當研究人員需要對樣品內部構造進行觀察、分析時,必須讓樣品內部呈現出,若使用一般的機械切割和研磨設備,無法避免因應力破壞而產生的變形和損傷,而Ion milling是利用非接觸式離子束切割方式,去切削出樣品的剖面,不同於一般樣品接觸式剖面研磨,非接觸式離子束切削的方式可避免因研磨過程所產生的應力影響。

離子束表面拋光(Surface Polish)

用 SEM 進行表面觀察、表面分析時,可透過Ion milling進行表面拋光除去樣品之應力破壞層或者用於機械研磨的後續加工,使樣品呈現原始清晰的樣貌。

 

操作過程需花費很多時間以及設定很多的參數才能做出一個高品質的樣品,而Technoorg Linda針對使用者的需求推出SEMPrep2 離子研磨機,提高製作樣品時的友善操作程度以及特殊樣品製作便利性,進而產出高品質製樣結果。

  • 使用者操作介面Win10系統:樣品製備結果好壞會根據參數設定而導致不同品質結果,設定上若太過於複雜,需要長時間的學習才能上手。SEMPrep2使用者介面為Win10系統,操作方式如同一般電腦設定方式,不需再額外花大量時間訓練,使用滑鼠鍵盤設定後即可開始運行。
圖二、UI介面設定樣品旋轉以及傾斜角度位置
圖三、為UI介面設定作用電壓以及時間位置
  • 液態氮自動偵測填充系統:液態氮的用途冷卻整個樣品台的溫度,以確保製作樣品時避免溫度過高而導致樣品發生融化或者形變現象。以往液態氮補充是使用人工方式補充,在時間掌握度以及安全性來說有疑慮,而Technoorg Linda所研發的液氮自動偵測填充系統能夠有效降低工安意外事件,透過此系統使壓力持續保持在100mba的標準值,在外接填充鋼瓶液氮容量過低時,系統會自動發出警示聲提醒使用者。
圖四、Technoorg Linda液態氮自動偵測填充系統
  •  真空轉移艙Vacuum Transfer Unit : 對於敏感樣品的製作上要非常的小心,容易因為氧化作用導致樣品變質影響檢測結果。Technoorg Linda針對此類特殊樣品提供真空轉移艙選擇,在真空或保護氣體(氮氣,氬氣等)中轉移到SEM中分析,進而產出最高品質樣品。
圖五、Technoorg Linda真空轉移艙

Technoorg Linda SEMPrep2的功能為科學領域提供更多技術上的支援,將樣品製備能力大幅提升。未來我們將繼續升級離子束減薄技術,提供更好的服務給使用者。

我們將在Semicon Taiwan展會期間 K2488攤位  實機展示 SEMPrep2  

【貴賓VIP預約】:預約完成立即享有展會期間SEM實機Demo / VIP顧問服務等福利

→ 前往預約:https://forms.gle/eXKfVALrx5bndG3h6

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