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電子顯微鏡環境干擾因素的探討與解決方案

勀傑科技 編著

現代科技多數設備都依賴於電子元件和電子系統,因此電磁干擾所造成的影響越來越大。電磁干擾(Electromagnetic Interference,簡稱EMI)是指電磁波與電子設備之間的相互影響,而導致設備的性能下降,嚴重甚至可使設備損壞或故障,電磁干擾可能影響的範圍像是電子顯微鏡、高精密儀器、通信設備、汽車、飛機、醫療設備、工業設備等。

其中,電子顯微鏡 (Electron Microscope, EM) 是現今微米、奈米科技研發與檢驗的重要工具,例如:掃描式電子顯微鏡(SEM)和穿透式電子顯微鏡(TEM),這些設備利用高能量的電子束來觀測微結構的表面形貌和物質的元素組成,周圍環境的電磁會造成設備信號干擾、電子成像的解析度下降、成像失真或扭曲變形、圖像雜訊和量測數據不精準等問題,除了電磁干擾外,環境中的震動、噪音也會對電子顯微鏡的性能造成影響,如何有效量測並分析環境具有哪些干擾因子並將干擾程度數據化,以幫助研究員選擇對應的解決方案,成為了現代科學中一門重要的課題。

由於可能造成影響的干擾源不只一種,過去為了釐清環境干擾源及影響程度,必須找來多家不同量測項目的廠商,一一找出或排除可能因子,過程往往繁瑣耗時且費用可觀,來自英國科技大廠Spicer Consulting的SC11環境量測儀可有效解決上述困擾。

【全面量測AC/DC磁場、震動、噪音】

SC11環境量測儀一次加載了三種探測器:磁場、震動、噪音量測,使其能夠有效地綜合評估精密儀器周圍的環境干擾源強度與頻率,並提供詳盡的數據報告,其中磁場更可量測AC交流磁場與DC直流磁場的方向與相對位置,使用者可迅速根據量測分析的結果,採取對應的策略以解決環境干擾與電磁干擾問題。

SC11 SI & Compact環境量測儀
(圖二) SC11 SI & Compact環境量測儀

SC11環境量測儀可測量從DC到13 kHz的電磁場強度,AC的磁場量測範圍更可達20 kHz,震動幅度從最小的0.1到最大500 Hz,並採用精密麥克風探測器,聲音分貝可支援20 dB到110 dB,甚至可量測半導體潔淨室中頂部晶圓傳送器所產生的9 kHz磁場等,可符合SEM、TEM、9kHz晶片傳送天車等各式精密儀器之環境量測需求。

(圖三) SC11 SI & Compact各式環境干擾量測分析

SC11環境量測儀可應用之產業和設備非常廣泛,特別是需要進行EMI測量和分析的行業,像是電子產品、電路板、半導體、醫療、交通、能源、通訊等產業,以及需要高精密測量的科學研究機構和實驗室。

【勀傑科技提供多元的解決方案】

透過SC11查找出環境干擾因子,勀傑科技也有提供一系列對應的解決方案,以最大化電子顯微鏡與高精密儀器的效能及穩定性,如:

  • Spicer Consulting主動式消磁器SC22、SC24、SC26,可建立屏蔽磁場的實驗室環境。
  • Herz主動式防震台,主動檢測輸入震動幅度並動態消除。
  • Herzan電子顯微鏡防噪音箱,使用多層隔音材料,加上模組化、拼接式設計,有效阻隔噪音又方便使用。

【一站式服務,從量測、分析到解決方案】

整體而言,電子顯微鏡等高精密儀器作為關鍵的科學研究設備,環境干擾和電磁干擾所造成的影響不容小覷。為了確保這些高精密儀器能正常運作並維持高解析度、高靈敏度,需要對其周圍的環境進行嚴謹的干擾測量和分析,這就需要專業的工具和技術。

Spicer Consulting 的 SC11環境量測儀提供最全面的專業量測分析工具,並被世界領先的電子顯微鏡製造商及首屈一指的半導體製造商所使用。加上勀傑科技提供一站式服務,從場地量測探勘到改善方案一應俱全,從台灣出發跨國至中國、東南亞地區並擁有豐富的電鏡影像經驗從而協助客戶找出設備周圍的干擾源,並對症下藥提供相對應的解決方案,從而確保設備產出結果之準確性,提高生產效率,降低故障率,加速科技研究進程,並為人類高科技文明發展盡一份心力。

若您有主動式消磁器、環境監測儀器、電子顯微鏡等相關需求想要討論,或想要更進一步了解更多相關知識!

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