濺鍍

SEM的成像原理是電子訊號源產生電子後，並與樣品表面產生交互作用，若是遇到不導電或是導電性差的樣品就會產生電荷效應，解決的方式包含：濺鍍 (Sputter coating)，在樣品表面濺鍍一層薄薄的導電性材料，或是使用低真空模式、導電膠帶等方法。