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濺鍍

為何需要Sputter coating?SEM觀察不導電樣品方法有哪些

SEM的成像原理是電子訊號源產生電子後,並與樣品表面產生交互作用,若是遇到不導電或是導電性差的樣品就會產生電荷效應,解決的方式包含:濺鍍 (Sputter coating),在樣品表面濺鍍一層薄薄的導電性材料,或是使用低真空模式、導電膠帶等方法。

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