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磁場測試、震動測量、分貝檢測等儀器如何選？科技大廠選擇Spicer智能檢測儀的原因

智能檢測儀SC11、SC28挾帶其優勢已成為國內外科技大廠所使用，用於測量包含CD-SEM、EBL或其它半導體設備的環境參數以確保符合規定。多功能整合的智能軟體滿足：磁場強度測試、震動三軸測量、聲音分貝檢測，當下即可看測量的參數變化。

為了不斷提高電子顯微鏡解析度和成像品質，製造商的環境規範變得越來越嚴格，配備光譜儀的高階顯微鏡只能承受高達 10 或 20 奈米特斯拉的干擾；在無法遷移其他設備並重新安置所有設施的情況下，可以採取不同措施來應對震動和磁場的嚴重性並抵消其影響。

SEM、TEM電子顯微鏡是現今微米、奈米科技研發與檢驗的重要工具，用來觀測微結構的表面形貌和物質的元素組成，然而環境周圍的電磁干擾、震動、噪音也會對電子顯微鏡的性能造成影響，如何有效量測並分析環境具有哪些干擾因子並將干擾程度數據化，以幫助研究員選擇對應的解決方案，成為了現代科學中一門重要的課題…

在許多情況下，我們必須對環境做量測或監控，以確保環境在符合標準的磁場、震動、聲波等範圍內。例如：在安裝電子顯微鏡、電子束微影系統、CD-SEM 和聚焦離子束顯微鏡等儀器之前的環境評估、找出實驗室設備運作問題的原因、長期維持敏感設備穩定度等等。