SC11

智能檢測儀SC11、SC28挾帶其優勢已成為國內外科技大廠所使用，用於測量包含CD-SEM、EBL或其它半導體設備的環境參數以確保符合規定。多功能整合的智能軟體滿足：磁場強度測試、震動三軸測量、聲音分貝檢測，當下即可看測量的參數變化。

SEM、TEM電子顯微鏡是現今微米、奈米科技研發與檢驗的重要工具，用來觀測微結構的表面形貌和物質的元素組成，然而環境周圍的電磁干擾、震動、噪音也會對電子顯微鏡的性能造成影響，如何有效量測並分析環境具有哪些干擾因子並將干擾程度數據化，以幫助研究員選擇對應的解決方案，成為了現代科學中一門重要的課題…

在許多情況下，我們必須對環境做量測或監控，以確保環境在符合標準的磁場、震動、聲波等範圍內。例如：在安裝電子顯微鏡、電子束微影系統、CD-SEM 和聚焦離子束顯微鏡等儀器之前的環境評估、找出實驗室設備運作問題的原因、長期維持敏感設備穩定度等等。