Spicer SC26 主動式消磁器 改善300mm線上電子束檢測設備磁場干擾問題
進入300mm晶圓廠中不難發現,當晶圓運輸天車在運作過程中,將會產生9 kHz的磁場干擾,嚴重影響周遭電子束檢測設備的性能,成為提升半導體CD節點技術的阻礙之一…
進入300mm晶圓廠中不難發現,當晶圓運輸天車在運作過程中,將會產生9 kHz的磁場干擾,嚴重影響周遭電子束檢測設備的性能,成為提升半導體CD節點技術的阻礙之一…
Spicer Consulting SC24 主動式消磁器能同時減少AC交流電和DC直流電的磁場干擾,,包含來自電梯、火車、交通工具和其他機台干擾,使電子顯微鏡恢復最高品質的成像結果。針對外部磁場變化為自動回應…
Spicer Consulting SC22 主動式消磁器減少了環境周圍的AC交流電磁場干擾,使機台恢復最高品質的成像結果。針對外部磁場變化為自動回應,回應時間小於100微秒,在50x 50/60 Hz消除2.5 Hz到5000 Hz AC交流電場干擾…
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