認識「主動式消磁器」與「被動式消磁機」
2021-08-11
高性能電子束的設備對磁場變化非常敏感，當環境磁場發生變化時，會造成電子顯微鏡中的電子束偏轉，進而導致機台的分辨率和測量精準度下降。這時候消磁…
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應用專欄
如何利用SEM觀察ACF與高分子導電粒子
2021-07-14
高分子又稱為聚合物，是由許多小分子單體共聚合而成，像是生活中隨處可見的塑膠、橡膠、樹脂或是纖維皆是常見的高分子材質，由於…
表面分析是什麼？捕捉半導體製程缺陷必備！
2023-09-07
在半導體製程當中，想要精確的發現製程缺陷，少不了半導體缺陷分析。而在這中間表面分析儀器與手法更是重中之重。本文大略介紹了何為表面分析技術，以及一些常見的表面分析工具，包含SEM、XPS、AES、AFM和SIMS，還有這些工具在不同步驟中的應用。
電子顯微鏡的安裝規劃 – 如何減少或消除干擾
2023-08-31
為了不斷提高電子顯微鏡解析度和成像品質，製造商的環境規範變得越來越嚴格，配備光譜儀的高階顯微鏡只能承受高達 10 或 20 奈米特斯拉的干擾；在無法遷移其他設備並重新安置所有設施的情況下，可以採取不同措施來應對震動和磁場的嚴重性並抵消其影響。
半導體光刻機製程應用實例：桌上型SEM實現自動化品保測量
2023-07-31
在研發實驗室，我們選擇了 Thermo ScientificTM Phenom XLTM 桌上型掃描式電子顯微鏡 (SEM) 作為我們製程驗證程序的一部分，除了易用性和能容納 100 mm x 100 mm 樣品大小之外，Thermo Scientific Phenom XL 還擁有各類型的桌上型SEM中最快的放樣速度。