應用專欄

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電子顯微鏡環境干擾因素的探討與解決方案

SEM、TEM電子顯微鏡是現今微米、奈米科技研發與檢驗的重要工具,用來觀測微結構的表面形貌和物質的元素組成,然而環境周圍的電磁干擾、震動、噪音也會對電子顯微鏡的性能造成影響,如何有效量測並分析環境具有哪些干擾因子並將干擾程度數據化,以幫助研究員選擇對應的解決方案,成為了現代科學中一門重要的課題…

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如何提高電子束微影的良率:掌握消磁器選擇的關鍵

2023年半導體雖然面臨後疫情時代的市場挑戰,先進製程微縮仍是半導體製造業的發展趨勢,其中電子束微影(Electron Beam Lithography,簡稱EBL)更是具潛力發展的技術之一,其應用範圍包含:微小電子元件、生物芯片、光學元件、量子器件、奈米結構材料、微型機械結構等領域。因此,如何在複雜技術中提高良率以降低成本,解決電磁干擾等環境問題至關重要。

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掃描式電子顯微鏡(SEM)選購要點:鎢燈絲和CeB6燈絲差在哪?

對於不同的燈絲源,就性能來說,場發射(FEG)燈絲源生成的高解析圖像最為出色,但是它要求的真空度很高,需要高價的真空設計。因此,對於倍率不需要那麼高的使用者來說,就會更注重能夠以較低成本生成高質量的圖像。這就是為什麼您經常看到鎢燈絲和CeB6燈絲在桌上型電子顯微鏡供應商提供的規格表中。而燈絲的成本效益與它的使用壽命和機台日常維護有關。

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