應用專欄

不能不知道的掃描式電子顯微鏡(SEM)微粒分析技術

科技的躍進時代下,樣品觀測不再受光波的波長所局限,電子顯微鏡的發明突破了光學顯微鏡的解析度瓶頸,造就了探索與開啟奈米世界的鑰匙,而粉末微粒便是奈米世界中的小巨人,微小的顆粒卻能影響甚至改變各種物質的變化,其影響領域不只侷限在工業領域(高分子材料),近年來以奈米科技延伸發展…

閱讀更多 »

電子顯微鏡:揭開肉眼看不見的世界

光學顯微鏡的解析度受限於光的波長,為了獲得更精細的影像,科學家利用電子製造了電子顯微鏡。電子顯微鏡的解析度是光學顯微鏡的1,000倍之多,甚至達到奈米等級。電子顯微鏡主要分為SEM及TEM兩種。前者藉由…

閱讀更多 »

材料分析如何協助解決晶圓缺陷,提升製程良率!

在半導體製程當中,想要精確的發現製程缺陷,少不了半導體缺陷分析。而在這中間表面分析儀器與手法更是重中之重。本文大略介紹了何為表面分析技術,以及一些常見的表面分析工具,包含SEM、XPS、AES、AFM和SIMS,還有這些工具在不同步驟中的應用。

閱讀更多 »
濺鍍機_調整參數

濺鍍機該如何選?從調整參數看起

掃描式電子顯微鏡(SEM)的成像原理是電子訊號源產生電子後與樣品表面產生交互作用,再由偵測器接收不同類型電子(像是背向散射電子或二次電子)進行成像。具導電性樣品可導出交互作用於樣品表面的電子,若是…

閱讀更多 »
返回頂端