應用專欄

分析樣品元素,你需要的是EDS 還是EDX呢?

現今有許多光譜分析技術用於判別樣品的元素組成,其中X射線能量散布分析儀(Energy-dispersive X-ray spectroscopy, EDS)常用於電子顯微鏡中,而掃描式電子顯微鏡(簡稱 SEM)跟EDS兩者之間的技術密不可分,換句話說,一台完整功能的電子顯微鏡不可或缺EDS功能…

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表面分析

表面分析是什麼?捕捉半導體製程缺陷必備!

在半導體製程當中,想要精確的發現製程缺陷,少不了半導體缺陷分析。而在這中間表面分析儀器與手法更是重中之重。本文大略介紹了何為表面分析技術,以及一些常見的表面分析工具,包含SEM、XPS、AES、AFM和SIMS,還有這些工具在不同步驟中的應用。

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電子顯微鏡的安裝規劃 – 如何減少或消除干擾

勀傑科技 編譯 一個電子顯微鏡穩定的環境條件建立,其關鍵是由專門服務提供者或設備供應商進行嚴格的安裝前檢查,確保是否有影響成像品質的任何外在因素。 通常,會包括測量聲級和 X、Y、Z 方向的磁場及地面振動,並與要安裝的設備環境規格進行直接比

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