應用專欄

截面觀察：如何挑選IC切片手法，找出半導體失效原因！

2023-09-07

IC切片手法大致分為裂片 (Cleavage)、傳統機械研磨（Grinding）、離子研磨CP（Ion Milling）、聚焦離子束FIB（Focused Ion Beam）等四種。想要知道四種IC切片手法的優缺點與適用環境嗎？本文除了詳細解釋以外，還附上案例照片影片供您參考喔！

表面分析是什麼？捕捉半導體製程缺陷必備！

2023-09-07

在半導體製程當中，想要精確的發現製程缺陷，少不了半導體缺陷分析。而在這中間表面分析儀器與手法更是重中之重。本文大略介紹了何為表面分析技術，以及一些常見的表面分析工具，包含SEM、XPS、AES、AFM和SIMS，還有這些工具在不同步驟中的應用。

電子顯微鏡的安裝規劃 – 如何減少或消除干擾

2023-08-31

為了不斷提高電子顯微鏡解析度和成像品質，製造商的環境規範變得越來越嚴格，配備光譜儀的高階顯微鏡只能承受高達 10 或 20 奈米特斯拉的干擾；在無法遷移其他設備並重新安置所有設施的情況下，可以採取不同措施來應對震動和磁場的嚴重性並抵消其影響。

半導體光刻機製程應用實例：桌上型SEM實現自動化品保測量

2023-07-31

在研發實驗室，我們選擇了 Thermo ScientificTM Phenom XLTM 桌上型掃描式電子顯微鏡 (SEM) 作為我們製程驗證程序的一部分，除了易用性和能容納 100 mm x 100 mm 樣品大小之外，Thermo Scientific Phenom XL 還擁有各類型的桌上型SEM中最快的放樣速度。

使用Phenom掃描式電子顯微鏡自動化檢測防護塗層

2023-07-19

從繪畫、油漆到黏合劑或用於防護塗層、光學、催化或絕緣的塗層，在所有這些塗層中，磷酸鹽轉化塗層發揮著重要作用，尤其是在汽車工業中，因為此材料具有耐腐蝕性和潤滑性，由於這些塗層用於關鍵組件上，因此塗層製程必須經過徹底的品質檢測，在本篇文章中，將闡述和分析自動化工具（PPI）與 Phenom 桌上型掃描式電子顯微鏡相結合如何有助於防護塗層的品質檢測。