如何避免SEM電子束所造成之樣品損壞?

使用掃描式電子顯微鏡時,隨著觀測樣品時間越久,電子束可能會永久性地改變或降解正在觀察的樣品。樣品降解是一種有害的影響,因為會改變(甚至破壞)想要看到的樣品細節,進而影響檢測結果,此類影響稱之為電子束損壞。

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